Фасетирование при локальной твердофазной и молекулярно-лучевой эпитаксии кремния на кремнии

Черноголовка

104 стр.

Фасетирование при локальной твердофазной и молекулярно-лучевой эпитаксии кремния на кремнии — Изюмская, Наталия Федоровна — 1999 — Российская библиотека диссертаций