Фазовый анализ тонких пленок и границ раздела по оже-спектрам на примере систем Al/TiN/Si и Сo-Si/Si

Черноголовка

194 стр.

Фазовый анализ тонких пленок и границ раздела по оже-спектрам на примере систем Al/TiN/Si и Сo-Si/Si — Бешенков, Владимир Григорьевич — 1989 — Российская библиотека диссертаций