Физические свойства керметных слоев, полученных внедрением металлической примеси методом атомов отдачи в диоксид кремния

Горьковский университет, Горький

24 стр.

Физические свойства керметных слоев, полученных внедрением металлической примеси методом атомов отдачи в диоксид кремния — Чигиринский, Юрий Исаакович — 1986 — Российская библиотека диссертаций