Обложка работы «Физический механизм формирования электронного энергетического спектра приэлектродной плазмы емкостного ВЧ разряда низкого давления». Автор: Сингаевский, Игорь Федорович. Степень: Канд. наук. Год: 1998

Физический механизм формирования электронного энергетического спектра приэлектродной плазмы емкостного ВЧ разряда низкого давления

Москва

192 стр.

Физический механизм формирования электронного энергетического спектра приэлектродной плазмы емкостного ВЧ разряда низкого давления — Сингаевский, Игорь Федорович — 1998 — Российская библиотека диссертаций