Физико-механические свойства кремниевых наноструктур как технологического материала микросистемной техники

Москва

131 стр.

Физико-механические свойства кремниевых наноструктур как технологического материала микросистемной техники — Залкинд, Яков Григорьевич — 2006 — Российская библиотека диссертаций