Физико-технологические основы лазерного напыления тонких пленок для устройств твердотельной электроники и микроэлектроники

Московский институт электронной техники, Москва

25 стр.

Физико-технологические основы лазерного напыления тонких пленок для устройств твердотельной электроники и микроэлектроники — Днепровский, Валерий Григорьевич — 1985 — Российская библиотека диссертаций