Физико-технологические основы травления арсенида галлия в низкотемпературной химически активной плазме магнетронного разряда при производстве изделий электронной техники

Москва

37 стр.

Физико-технологические основы травления арсенида галлия в низкотемпературной химически активной плазме магнетронного разряда при производстве изделий электронной техники — Беневоленский, Сергей Борисович — 2000 — Российская библиотека диссертаций