Обложка работы «Физико-технологические особенности создания выпрямляющих и омических контактов в кремниевых полупроводниковых приборах и ИС с использованием титана и его соединений». Автор: Шевяков, Василий Иванович. Степень: Докт. наук. Год: 1998

Физико-технологические особенности создания выпрямляющих и омических контактов в кремниевых полупроводниковых приборах и ИС с использованием титана и его соединений

Москва

367 стр.

Физико-технологические особенности создания выпрямляющих и омических контактов в кремниевых полупроводниковых приборах и ИС с использованием титана и его соединений — Шевяков, Василий Иванович — 1998 — Российская библиотека диссертаций