Физико-технологические принципы и методы обеспечения качества КМОП БИС массового производства

Москва

277 стр.

Ключевые слова

КМОП БИС массового производства

Физико-технологические принципы и методы обеспечения качества КМОП БИС массового производства — Красников, Геннадий Яковлевич — 1996 — Российская библиотека диссертаций