Формирование функции распределения ионов вблизи поверхности при отрицательном потенциале в газоразрядной плазме

ФГБОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный университет», Санкт-Петербург

243 стр.

Ключевые слова

структура пристеночного слоя, распределение ионов, газоразрядная плазма

Формирование функции распределения ионов вблизи поверхности при отрицательном потенциале в газоразрядной плазме — Мурильо, Хиллер Оскар Габриэль — 2019 — Российская библиотека диссертаций