Формирование и электрофизические характеристики многослойных структур на основе системы кремний-диоксид кремния

Санкт-Петербург

341 стр.

Ключевые слова

многослойные структуры

Формирование и электрофизические характеристики многослойных структур на основе системы кремний-диоксид кремния — Урицкий, Валерий Яковлевич — 1995 — Российская библиотека диссертаций