Формирование и исследование свойств эпитаксиальных структур GaN/Si(111)

ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)», Санкт-Петербург

127 стр.

Ключевые слова

эпитаксиальные структуры, молекулярно-пучковая эпитаксия с плазменной активацией азота

Формирование и исследование свойств эпитаксиальных структур GaN/Si(111) — Шубина, Ксения Юрьевна — 2021 — Российская библиотека диссертаций