Формирование из газовой фазы функциональных слоёв субмикронных структур интегральных микросхем на основе кремния
Ключевые слова
осаждение пленок, травление, химическое осаждение из газовой фазы
осаждение пленок, травление, химическое осаждение из газовой фазы