Формирование из газовой фазы функциональных слоёв субмикронных структур интегральных микросхем на основе кремния

Минск

25 стр.

Ключевые слова

осаждение пленок, травление, химическое осаждение из газовой фазы

Формирование из газовой фазы функциональных слоёв субмикронных структур интегральных микросхем на основе кремния — Наливайко, Олег Юрьевич — 2022 — Российская библиотека диссертаций