Формирование олеофобных структур оптически-прозрачных бинарных покрытий, осаждаемых реакционным распылением в аргон-азот-кислородной плазме магнетронного разряда

Национальный исследовательский ядерный университет, Москва

156 стр.

Ключевые слова

олеофобные тонкопленочные покрытия, плазма магнетронного разряда, газофазное осаждение в плазме

Формирование олеофобных структур оптически-прозрачных бинарных покрытий, осаждаемых реакционным распылением в аргон-азот-кислородной плазме магнетронного разряда — Бернт, Дмитрий Дмитриевич — 2019 — Российская библиотека диссертаций