Формирование олеофобных структур оптически-прозрачных бинарных покрытий, осаждаемых реакционным распылением в аргон-азот-кислородной плазме магнетронного разряда
Ключевые слова
олеофобные тонкопленочные покрытия, плазма магнетронного разряда, газофазное осаждение в плазме