Формирование пленок дисульфида молибдена для электроники методом магнетронного распыления стехиометрических мишеней

ФГБОУ ВО «Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)», Москва

150 стр.

Формирование пленок дисульфида молибдена для электроники методом магнетронного распыления стехиометрических мишеней — Чжо Зин Пьо — 2021 — Российская библиотека диссертаций