Формирование слоёв двуокиси кремния интегральных микросхем с использованием импульсных фотонных термообработок

Минск

22 стр.

Формирование слоёв двуокиси кремния интегральных микросхем с использованием импульсных фотонных термообработок — Чигирь, Григорий Григорьевич — 1986 — Российская библиотека диссертаций