Геттерирование подвижных ионов в диэлектрических слоях МДП-структур

Москва

103 стр.

Ключевые слова

диэлектрические слои

Геттерирование подвижных ионов в диэлектрических слоях МДП-структур — Сапольков, Александр Юрьевич — 1996 — Российская библиотека диссертаций