Ионные и плазменные источники для создания модифицированных слоев в диэлектриках

Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ», Иркутск

138 стр.

Ключевые слова

модифицированные слои в диэлектриках, ионно-плазменные методы создания модифицированного слоя

Ионные и плазменные источники для создания модифицированных слоев в диэлектриках — Шипилова, Ольга Ивановна — 2019 — Российская библиотека диссертаций