Исследование дефектной структуры InSb и GaAs, возникающей при ионном внедрении и постимплантационном отжиге

Московский институт электронной техники, Москва

17 стр.

Исследование дефектной структуры InSb и GaAs, возникающей при ионном внедрении и постимплантационном отжиге — Питиримова, Елена Алексеевна — 1983 — Российская библиотека диссертаций