Исследование факторов, влияющих на получение линий субмикронных размеров методом микрозондовой электронолитографии

Другие работы по этой специальности

1. Изготовление и исследование инжекционных источников на основе гетеропереходов в системе арсенид галлия - арсенид алюминия

   Шелованова, Галина Николаевна · 1976 · Канд. наук

   • 05.12.11
2. Исследование и разработка магнитотранзисторов на основе германия и кремния

   Штюбнер, Герд · 1976 · Канд. наук

   • 05.12.11
3. Исследование и разработка метода геттерного диодного распыления для получения пленок металлов и кремния с низким содержанием газовой примеси

   Шпиг, Виталий Иванович · 1976 · Канд. наук

   • 05.12.11
4. Исследование технологии выращивания слоев двуокиси кремния методом ускоренного гидротермального окисления

   Чернов, Аркадий Алексеевич · 1976 · Канд. наук

   • 05.12.11
5. Исследование деградации полупроводниковых светоизлучающих диодов

   Щепетилова, Людмила Алексеевна · 1975 · Канд. наук

   • 05.12.11