Исследование и оптимизирование процессов плазменного травления в низкочастотном разряде
Младенов, Алексей Йорданов, 1988, кандидатская диссертация
Новосибирск
168 стр.
Другие работы по этой специальности
- Явления на катоде и в прикатодной плазме в начальных стадиях импульсного пробоя миллиметровых вакуумных промежутков
Нефедцев, Евгений Валерьевич · 2022 · Докт. наук · ФГБУН Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук
- Генерация и исследование пучковой и газоразрядной плазмы для модификации материалов и электрореактивного движения
Золотухин, Денис Борисович · 2022 · Докт. наук · ФГБУН Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук
- Катодолюминесцентные источники света с автокатодами из углеродных материалов для искусственного освещения растений
Чжо Мое Аунг · 2021 · Канд. наук · ФГАОУ ВО «Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет)»
- Рентгеновские трубки для аналитической аппаратуры с автокатодами из полиакрилонитрильных углеродных волокон
Йе Мин Хтуе · 2021 · Канд. наук · ФГАОУ ВО «Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет)»
- Электронно-лучевое нанесение многофункциональных диэлектрических покрытий форвакуумными плазменными источниками
Юшков, Юрий Георгиевич · 2020 · Докт. наук · ФГБОУ ВО «Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники»