Исследование и разработка ионно-плазменной технологии формирования тонких диэлектрических плёнок для элементов интегральных схем

Московский институт электронной техники, Москва

23 стр.

Исследование и разработка ионно-плазменной технологии формирования тонких диэлектрических плёнок для элементов интегральных схем — Молотков, Виктор Алексеевич — 1985 — Российская библиотека диссертаций