Исследование и разработка конструкции и технологии КНИ-элементов интегральных микросистем на основе рекристаллизованного поликремния

Москва

221 стр.

Исследование и разработка конструкции и технологии КНИ-элементов интегральных микросистем на основе рекристаллизованного поликремния — Шумский, Игорь Александрович — 1999 — Российская библиотека диссертаций