Исследование и разработка процессов формирования наноструктурированных барьерных слоёв на основе фторуглеродных пленок

Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана, Москва

162 стр.

Исследование и разработка процессов формирования наноструктурированных барьерных слоёв на основе фторуглеродных пленок — Сильницкая, Ольга Андреевна — 2018 — Российская библиотека диссертаций