Исследование и разработка процессов формирования непроникающих омических контактов на основе силицида титана к мелкозалегающим р-п-переходам кремниевых ИС

Москва

129 стр.

Ключевые слова

омические контакты, кремниевые ИС

Исследование и разработка процессов формирования непроникающих омических контактов на основе силицида титана к мелкозалегающим р-п-переходам кремниевых ИС — Райнова, Мария Юрьевна — 1996 — Российская библиотека диссертаций