Исследование и разработка системы характеризации процессов формирования наноразмерных элементов интегральных схем

Московский институт электронной техники, Москва

120 стр.

Исследование и разработка системы характеризации процессов формирования наноразмерных элементов интегральных схем — Волоховский, Александр Дмитриевич — 2017 — Российская библиотека диссертаций