Исследование и разработка технологии изготовления термостабильных слабопроникающих контактных систем кремниевых ИС

Москва

159 стр.

Ключевые слова

кремниевые ИС

Исследование и разработка технологии изготовления термостабильных слабопроникающих контактных систем кремниевых ИС — Громов, Дмитрий Геннадьевич — 1996 — Российская библиотека диссертаций