Исследование и разработка технологии создания высокопрочных мембран для преобразователей физических величин

Московский государственный институт электронной техники, Москва

182 стр.

Исследование и разработка технологии создания высокопрочных мембран для преобразователей физических величин — Гусев, Евгений Эдуардович — 2019 — Российская библиотека диссертаций