Исследование имплантационных методов формирования структур полупроводниковых СВЧ и фотодиодов

Москва

219 стр.

Ключевые слова

фотодиоды - производство

Исследование имплантационных методов формирования структур полупроводниковых СВЧ и фотодиодов — Чапкевич, Александр Львович — 2004 — Российская библиотека диссертаций