Исследование неоднородности тонких слоев полупроводниковых материалов методом реакционной вторичной ионно-ионной эмиссии

Москва

244 стр.

Исследование неоднородности тонких слоев полупроводниковых материалов методом реакционной вторичной ионно-ионной эмиссии — Орлов, Павел Борисович — 1976 — Российская библиотека диссертаций