Исследование приповерхностных слоев кремния, имплантированного высокими дозами углерода с помощью ИК-спектроскопии

Алматы

152 стр.

Ключевые слова

Кремний

Исследование приповерхностных слоев кремния, имплантированного высокими дозами углерода с помощью ИК-спектроскопии — Жариков, Сагиндык Киякбаевич — 1996 — Российская библиотека диссертаций