Исследование процессов ионной имплантации и последующей термической обработки феррит-гранатовых пленок для СБИС ЗУ на ЦМД

Московский институт электронного машиностроения, Москва

23 стр.

Исследование процессов ионной имплантации и последующей термической обработки феррит-гранатовых пленок для СБИС ЗУ на ЦМД — Шлёнов, Юрий Викторович — 1986 — Российская библиотека диссертаций