Исследование температурных полей, напряжений и дефектообразования в кремниевых структурах ИС при быстрой термической обработке некогерентным излучением

Таганрог

78 стр.

Исследование температурных полей, напряжений и дефектообразования в кремниевых структурах ИС при быстрой термической обработке некогерентным излучением — Агеев, Олег Алексеевич — 1995 — Российская библиотека диссертаций