Исследование термостабильности электрофизических параметров и структурных свойств бездицслокационных монокристаллов кремния большого диаметра, выращенных методом Чохральского

Ташкент

229 стр.

Исследование термостабильности электрофизических параметров и структурных свойств бездицслокационных монокристаллов кремния большого диаметра, выращенных методом Чохральского — Назаров Тухтасин — 1986 — Российская библиотека диссертаций