Исследование твердофазной эпитаксии легированных пленок кремния в условиях сверхвысокого вакуума

Владивосток

127 стр.

Исследование твердофазной эпитаксии легированных пленок кремния в условиях сверхвысокого вакуума — Зотов, Андрей Вадимович — 1987 — Российская библиотека диссертаций