Исследование влияния ионного легирования на параметры системы двуокись кремния-кремний

Рязань

176 стр.

Исследование влияния ионного легирования на параметры системы двуокись кремния-кремний — Холомина, Татьяна Андреевна — 1978 — Российская библиотека диссертаций