Исследование влияния параметров реактивного магнетронного распыления на электронные свойства аморфного гидрированного Si, Ge и сплавов на их основе

Санкт-Петербург

18 стр.

Исследование влияния параметров реактивного магнетронного распыления на электронные свойства аморфного гидрированного Si, Ge и сплавов на их основе — Ишкалов, Жанай Толаганович — 1993 — Российская библиотека диссертаций