Исследование влияния условий роста на кристаллическую структуру и некоторые электрофизические свойства эпитаксиальных слоев карбида кремния

Ташкент

18 стр.

Исследование влияния условий роста на кристаллическую структуру и некоторые электрофизические свойства эпитаксиальных слоев карбида кремния — Кадыров, Мирпулат Адилович — 1986 — Российская библиотека диссертаций