Исследование влияния внедрения химически активных ионов в процессе осаждения SIO и AI на особенности образования и свойства полученных пленок

Вильнюс

16 стр.

Исследование влияния внедрения химически активных ионов в процессе осаждения SIO и AI на особенности образования и свойства полученных пленок — Дудонис, Юлюс Ионович — 1976 — Российская библиотека диссертаций