Исследования дефектов кристаллической структуры, возникающих в полупроводниках при технологических воздействиях, методами амплитудно-фазового электронно-микроскопического контраста

Москва

17 стр.

Исследования дефектов кристаллической структуры, возникающих в полупроводниках при технологических воздействиях, методами амплитудно-фазового электронно-микроскопического контраста — Боргардт, Николай Иванович — 1984 — Российская библиотека диссертаций