Исследования физико-химических процессов генерации и гибели частиц в плазме ВЧ разряда в планарном реакторе плазмохимического травления промышленного типа
Пашков, Владимир Юрьевич, 1996, кандидатская диссертация
Москва
255 стр.
Ключевые слова
плазма
Другие работы по этой специальности
- Оптические свойства фотонных кристаллов и магнитооптические методы исследования наноструктур и элементов электроники
Яшин, Максим Михайлович · 2022 · Канд. наук · ФГБОУ ВО «МИРЭА - Российский технологический университет»
- Разработка и исследование микросхем высокоэффективных усилителей мощности на базе HEMT GaN-транзисторов
Мьо Мин Тхант · 2022 · Канд. наук · ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники»
- Исследование и разработка методики повышения стойкости высоковольтных КМОП микросхем к накопленной дозе радиации
Нагорнов, Алексей Юрьевич · 2022 · Канд. наук · ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники»
- Электро- и магнитокалорический эффекты в объемных сегнетоэлектрических и ферромагнитных материалах
Анохин, Александр Сергеевич · 2022 · Канд. наук · ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)»
- Гетерогенно-интегрированная микрофлюидная биосенсорная система
Ситков, Никита Олегович · 2022 · Канд. наук · ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)»