Обложка работы «Исследоввание процессов плазмохимического осаждения пленок нитрида кремния». Автор: Ковалгин, Алексей Юрьевич. Степень: Канд. наук. Год: 1995

Исследоввание процессов плазмохимического осаждения пленок нитрида кремния

Санкт-Петербург

237 стр.

Исследоввание процессов плазмохимического осаждения пленок нитрида кремния — Ковалгин, Алексей Юрьевич — 1995 — Российская библиотека диссертаций