Изучение механизмов распыления двухкомпонентных мишеней методами компьютерного моделирования

Москва

182 стр.

Изучение механизмов распыления двухкомпонентных мишеней методами компьютерного моделирования — Татур, Андрей Эдуардович — 1998 — Российская библиотека диссертаций