Карбидокремниевые микромеханические ключи

С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т (ЛЭТИ), Санкт-Петербург

151 стр.

Карбидокремниевые микромеханические ключи — Лагош, Антон Валерьянович — 2017 — Российская библиотека диссертаций