Кинетика накопления и отжига радиационных дефектов в активных областях кремниевых МОП и КМОП структур

Москва

189 стр.

Ключевые слова

радиационные дефекты, ремниевые структуры

Кинетика накопления и отжига радиационных дефектов в активных областях кремниевых МОП и КМОП структур — Таперо, Константин Иванович — 1996 — Российская библиотека диссертаций