Конструктивно-технологические основы создания инерциальных микроэлектромеханических систем

Московский институт электронной техники, Москва

320 стр.

Конструктивно-технологические основы создания инерциальных микроэлектромеханических систем — Тимошенков, Алексей Сергеевич — 2019 — Российская библиотека диссертаций