Конструктивно-технологические решения формирования элементов металлизации силовых МДП-транзисторных структур с вертикальным каналом с топологическими нормами 0,25 мкм

«Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники» ; Диссовет 24.2.342.03 (Д 212.134.XX), Москва

123 стр.

Конструктивно-технологические решения формирования элементов металлизации силовых МДП-транзисторных структур с вертикальным каналом с топологическими нормами 0,25 мкм — Горностай-Польский, Вадим Станиславович — 2026 — Российская библиотека диссертаций