Разработка методик исследования характеристик МЭМС-акселерометров при малых ускорениях и изменении температуры

«Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники» ; Диссовет 24.2.342.03 (Д 212.134.XX), Москва

170 стр.

Разработка методик исследования характеристик МЭМС-акселерометров при малых ускорениях и изменении температуры — Челышев, Леонид Сергеевич — 2026 — Российская библиотека диссертаций