Кремниевые микроэлектронные датчики на основе КМОП конструктивно-технологического базиса

Москва

375 стр.

Ключевые слова

кремниевые датчики

Кремниевые микроэлектронные датчики на основе КМОП конструктивно-технологического базиса — Чаплыгин, Юрий Александрович — 1995 — Российская библиотека диссертаций