Кремниевый упругий подвес компенсационных акселерометров и влияние технологических погрешностей его изготовления

Москва

251 стр.

Кремниевый упругий подвес компенсационных акселерометров и влияние технологических погрешностей его изготовления — Юрасов, Юрий Владиславович — 1996 — Российская библиотека диссертаций